ULPAフィルター

ULPAフィルターは、0.15μmの粒子に対し99.9995％以上の捕集力が期待できることで知られているフィルタであり、HEPA製品では除去できない微細な物質も除去できます。

このページでは、ULPAフィルター の基本的な構造やメリットについて簡潔に解説します。クリーンブースの導入を検討している方は、ぜひ参考にしてください。

ULPAフィルターとは

定格流量で粒径が0.15µmの粒子に対し、99.9995%以上の粒子捕獲率を所有するエアフィルタを指します。半導体工場のような、高い清浄度が要求されるクリーンルーム・生産装置などに用いられる高性能フィルタのことで、HEPAでは困難とされる0.1µmほどの微少粒子も除去できるのが特徴です。

HEPAフィルターとのちがい

ULPAフィルターは、0.15μmの粒子に対し99.9995％以上の捕集力があり、HEPA製品で困難な微細な物質も除去できる特徴があります。HEPAフィルタより濾材密度を高くし、空気抵抗を下げるため濾材を薄くした製品です。

ULPAフィルターはHEPAフィルターよりも高い効力が期待できるため、より清浄度が求められるクリーンルームに適しています。

ULPAフィルターのメリット

ULPAフィルターには、微細な物質を除去したり、ウィルス対策が行えたりするメリットが期待できます。そのほかには、空気の流れを妨げないのも期待できるメリットです。ここでは、 ULPAフィルターのメリットについて解説していきます。

微細な物質を除去

先述の通り、ULPAフィルターは0.15μmの粒子に対し、99.9995％以上の捕集力があるとされ、HEPA製品では難しい微細な物質も除去できる性質があります。ULPA製品は、高い清浄度が要求されるクリーンルームで使用されるケースが多いです。

ウィルス対策

HEPAフィルターと比較すると、HEPAより強度が弱いという弱点がありますが、ウィルス対策において効果を発揮しやすくなっています。浮遊しているウイルスやほこりを99.999％以上キャッチし、空気を清潔に保ちやすいです。

空気の流れを妨げない

ULPAフィルターは、空気の流れを邪魔してしまうことなく、空気中の有害物質の除去に役立ちます。微細な物質の侵入を防ぐには、密閉度を高めることが有効ですが、空気の流れも遮断してしまうことになりかねません。LPAフィルターには、微細な物質を侵入させないほどの空気の通り道があるため、空気清浄機などにおいても活用可能です。

基本的なしくみと構造
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