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清浄度・クラスとは

※本記事はプロモーションを含みます。

クリーンブースと一言でまとめても、それぞれクラスがあり、空間の清浄度レベルによって明確に規格化されています。しかし、自社の用途に対して「どのレベルのクリーンクラスが必要なのか」判断が難しいと感じる方も多いのではないでしょうか。

このページでは、クリーンブースにおける「クリーンクラス(清浄度)」の基礎知識から、各業界における適用レベル、製品対応表、自然環境との比較、さらに選定の実務ポイントまでを網羅的に解説します。導入判断の一次資料としてご活用ください。

クリーンクラス・規格とは何か

クリーンクラス(清浄度)は、空気中に含まれる微粒子の数で空間の清浄度を定義する国際的な指標です。現在はISO 14644-1に基づく分類が標準で、1m3あたりの粒子数上限でISOクラス1〜9に区分されます。旧規格の米国連邦規格(FED-STD-209E)と併記されることも多く、国内資料では両者が混在して表記されがちです。

ポイント:ISOは粒径別上限値(例:0.1/0.2/0.3/0.5/1/5µm)が定義。測定は運用状態(As-built/At-rest/Operational)の条件設定が重要です。測定の考え方は 運用・モニタリング を参照。

ISO規格と米国連邦規格の対比

ISOでは粒子サイズ別に上限数が設定され、JIS(日本産業規格)もこれに準拠します。以下は代表的な対比表です(抜粋)。

ISO 14644-1 クラス上限値(個/m³) 米国連邦規格 JIS対象粒径範囲(µm)
0.1µm0.2µm0.3µm0.5µm1µm5µm
クラス1100.1~0.3
クラス210024100.1~0.3
クラス31,00023710235Class 10.1~0.5
クラス410,0002,3701,02035283Class 100.1~0.5
クラス5100,00023,70010,2003,520832Class 1000.1~5
クラス61,000,000237,000102,00035,2008,320293Class 1,0000.3~5
クラス7352,00083,2002,930Class 10,0000.3~5
クラス83,520,000832,00029,300Class 100,0000.3~5
クラス935,200,0008,320,000293,000Class 1,000,000

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クリーンクラス別メーカー製品一覧(抜粋)

各メーカーが提供するクリーンブースの対応範囲を整理しました。モデル記号の詳細は各社カタログをご確認ください。

会社名クラス対応範囲Class 100Class 1,000Class 10,000Class 100,000オーダーメイド
アクティブ100~10,000鋼板製クリーンブースACT-4/ACT-3各型ACT-4各型
樹産業1,000~10,000CA-ESF6F1-1.5×1.5×2.0HCA-ESF6F1-2.5×2.5×2.4H
日本エアーテック100~10,000MCB02-272820D5MCB02-272820T6MCB02-272820T7
シグマ光機100~1,000CRU6/SS-CB各型CRU5各型
ホクト総研1,000~100,000NBU-4-1515A-2 ほか同左同左
オリエンタル技研工業100~10,000RCB-100LBI-1500/2200/3000 ほかRCB-10,000
ユキ技研100~10,000
ニットー冷熱製作所100~10,000NBU-2NBU-3NBU-4
松定プレシジョン100~100,000各種各種各種各種
入江(販売)/アズワン(AXEL)100~10,000

補足:同一呼称でも気流方式(一方向流/乱流換気方式(オールフレッシュ/循環で達成難易度が変わります。カタログ値=実運用値ではありません。

業種別に求められるクリーンクラス(目安)

代表的な産業分野と要求清浄度の例です。工程内でも前/中/後工程で要求が異なる点に注意してください。

産業分野目安クラス主対象/目的
半導体(前工程)Class 1~100(ISO 3~5)露光・エッチング・CMP 等の微粒子欠陥低減
光学機器Class 100~10,000(ISO 5~7)レンズ組立・レーザー光学部品の傷/付着防止
精密機器/時計Class 100~10,000(ISO 5~7)微細組立時の繊維/粉塵混入防止
電子部品/PCBClass 100~10,000(ISO 5~7)はんだ不良/ブリッジ/コンタミ低減
医薬/無菌充填Class 100(ISO 5)Grade A アイソレーター/無菌保証水準の確保
病院(手術室)Class 1,000~100,000(ISO 6~8)空気感染対策・術野汚染リスク低減
食品/飲料Class 1,000~100,000(ISO 6~8)防虫/粉塵管理・異物混入対策
印刷/成形Class 1,000~100,000(ISO 6~8)表面欠陥・異物巻込み防止
自動車部品Class 1,000~100,000(ISO 6~8)鉄粉/切粉・塗装ゴミ対策

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自然環境との比較(感覚把握)

クリーンスペースの清浄度を直感的に把握するための環境比較です(参考)。

場所・状況塵埃濃度(個/ft³)
成層圏≦100
農村地帯(雨上がり・無風)100,000~300,000
住宅地1,000,000~
就業中の事務所2,000,000~5,000,000
工場地帯5,000,000~10,000,000
喫煙を行う会議室10,000,000~

清浄度達成に影響する要素(実務)

簡易判定:必要クリーンクラスの決め方

  1. 不良モードの把握:異物径・発生頻度・歩留まり感度を棚卸し。
  2. 工程単位で要求レベル化:「検査」「充填」「組立」など工程別に目標値を設定。
  3. 局所化の可否:全室ではなくブース/ベンチで達成可能かを検討。
  4. 試験設置:仮設ブース+FFU増減で粒子・欠陥の相関を確認。
  5. 運用設計:人員/入退出/清掃/監視のルールをセットで定義。

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粒子状汚染物質と表面清浄度(補足)

空中濃度だけでなく、製品/治具表面の付着粒子も品質に直結します。表面清浄度(SPC)は拭き取り・テープリフト・落下塵法などで評価し、工程ごとに受入基準を定義します。光学・半導体では照明可視化(ブルーライト+偏光)が効果的です。

クリーンクラスの選び方と注意点

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まとめ|用途に応じた適切なクリーンクラス選定を

クリーンクラスの理解は、クリーンブース選定の起点です。工程の不良モード・必要な気流方式・換気回数・フィルター構成・運用ルールを同じテーブルで設計すれば、コストと品質のバランスが取れた解に到達できます。迷う場合は、まずは局所クリーン化(ブース)で実測検証し、必要に応じて段階的に高度化するのが得策です。

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