HEPAフィルター

本ページは2025年5月時点の JIS B 9920:2019／ISO 29463-1:2022／EN 1822:2019 と、主要メーカー（日本エアーテック／ユキ技研／ホクト総研）の公開資料を総合し編集しています。実設計・運用時は必ず一次情報と所轄当局の最新ガイダンスを確認してください。

クリーンブース／クリーンルームの清浄度を安定維持するには、HEPA（High Efficiency Particulate Air）フィルターの正しい選定と運用が出発点です。FFU（ファンフィルターユニット）やパッケージ空調の最終段に搭載され、微細粒子・浮遊微生物・微粉を工程から排除します。

本稿では、法人利用者が意思決定しやすいように、規格と性能／段階フィルター構成／交換・点検／コストと省エネ／導入事例の順で、要点を整理します。

HEPA フィルターの規格と性能

HEPA は「最も透過しやすい粒径（MPPS：概ね 0.1〜0.3µm）」に対して規定効率を満たす必要があります。JIS B 9920 では代表的に99.97%（0.3µm相当）を基準とし、設計風速 0.45m/s での初期圧力損失 ≤ 250Pa を想定します。

国際整合規格（ISO 29463／EN 1822）では、総合効率とスキャンリークの両方で評価されます。用途や査察要件に応じて、H13／H14、さらに上位の U15（ULPA）へ拡張する考え方が一般的です。

規格	効率クラス	総合効率	リーク試験
ISO 29463	H13	≥ 99.95%	スキャン検査
ISO 29463	H14	≥ 99.995%	スキャン検査
EN 1822	U15	≥ 99.9995%	PAO/DEHS スキャン

ポイント：「0.3µmで99.97%」という表現は説明用の便法であり、実際の型式試験は MPPS 基準です。HEPA 同士の比較は、同一風速・同一MPPS を揃えて判断しましょう。

HEPA を活かす段階フィルター構成

寿命・圧損・消費電力のバランスを最適化するには、多段フィルターが有効です。前段で粗〜微細粉塵を受け止め、HEPA の負荷を軽減します。

段階	フィルター種別	参考規格	主な役割
第1段	プレ（粗塵）	JIS Z 8901 G3〜G4	毛髪・虫・大粒径粉塵の捕集
第2段	中性能	JIS Z 8901 F6〜F9	0.4µm級粉塵を捕捉→HEPA負担低減
第3段	HEPA/ULPA	JIS B 9920 H13/H14 他	最終清浄化（ISO Classの確保）

最近の FFU では、整流メッシュ（プレバッフル）一体化やナノファイバー・低圧損メディアにより、同風量での圧損を抑えつつ均一吹出しを実現する構造が増えています。

自社の工程に最適な
段階フィルター構成を相談する

交換・点検の実務（差圧・粒子・リーク）

差圧管理の目安

• 初期圧損：200〜250Pa（0.45m/s）
• 交換判定：ΔP が初期の 2倍、または 450〜500Pa 到達
• 点検頻度：月1回（差圧＋外観）。重要工程は四半期ごとに簡易スキャン

差圧単独では判断を誤る場合があるため、粒子カウント（0.5µm/0.3µm）と工程品質のトレンドと合わせて「交換すべき時期」を決めます。

典型的交換サイクル（目安）

環境負荷	プレ清掃	中性能交換	HEPA交換
低負荷（研究室）	2週	18か月	5年
中負荷（電子部品）	1週	12か月	3年
高負荷（粉体充填）	毎日	6か月	12か月

導入初期はログ収集期間（6〜12か月）を設け、実データで貴社最適周期にチューニングするのが確実です。

カタログ値だけでは分からない「寿命」の真実

HEPAフィルターの寿命は、環境負荷（粉塵量）と「前処理（プレフィルター）」で劇的に変わります。

運用パターン	プレフィルター管理	HEPA交換目安	コスト評価
NG運用	交換・清掃なし	半年〜1年で詰まる	交換費が嵩む（高コスト）
推奨運用	月1回清掃・交換	3年〜5年維持可能	トータルコスト安

ポイント：「フィルター代が高い」とお悩みの場合、フィルターそのものではなく、ブースの吸気設計やプレフィルターの選定を見直すことで、コストが大幅に下がるケースもあります。

リークテスト（ISO 14644-3 B.6）

• 試験剤：PAO または DEHS、濃度 20〜80µg/L
• スキャン速度：5cm/s、全面ジグザグ走査
• 許容値：H13/H14 ≤ 0.01%、U15 ≤ 0.001%

タイミングは「初期据付」「定期点検（年1〜2回）」「補修・地震後」。医薬品領域では査察エビデンスとしても必須です。

コストと省エネ（FFU×4／16m²・ISO 7の例）

シナリオ	交換周期	5年累計
		フィルター費（万円）	電力費（万円）
最適保守	HEPA 3年	96	10
遅延交換	HEPA 5年	64	26
過剰交換	HEPA 1年	240	9

遅延交換はフィルター費は下がる一方で、圧損増→ファン電力増により電力費・CO₂排出が増加し、TCO が悪化します。逆に過剰交換は部材費が膨張。最適保守が最も経済合理的です。

試算前提：FFU 1台 80W、年2,000h、電力単価 30円/kWh、CO₂原単位 0.55kg/kWh。現場条件に合わせて更新ください。

ランニングコストと寿命を両立する
最適保守プランを相談する

そのお悩み、「モノの購入」だけでは解決しないかもしれません

以下のような課題を感じている場合、既製品を買うのではなく、「ブース設計の見直し（局所化・カスタム）」で解決できる場合があります。

• フィルターがすぐに詰まってしまう
• クリーンブースの電気代が高すぎる
• 装置に合う特殊なサイズ・形状がない

根本的な解決のために、まずはカタログスペックだけでなく、「現場に合わせた設計」ができるメーカーかどうかも検討基準に入れましょう。

導入事例

Case 1：電子基板実装（中部）

• FFU：YFFU-2200 × 36（H13）
• 対策：前段自動巻替えプレフィルター、整流メッシュ見直し
• 結果：ΔP上昇速度 −25%、HEPA寿命 2.7→3.8年、BGAブリッジ不良 0.9→0.4%

Case 2：無菌充填ライン（関東）

• クラス：EU GMP Grade A（ISO 5）
• 構成：U15＋差圧・粒子リアルタイム監視
• 結果：年2回スキャンで無検知継続、査察指摘ゼロ

よくある質問（FAQ）

まとめ

HEPA フィルターは、クリーン環境の要です。段階フィルター設計、差圧・粒子・リークの三点管理、TCO と省エネの両立を押さえることで、品質・コスト・環境負荷の最適点に到達できます。

まずは現状のΔP／粒子／工程品質ログを棚卸しし、交換周期と前段構成を見直しましょう。小さな改善の積み重ねが、歩留まりと査察耐性を確実に底上げします。