ここでは、クリーンブースやクリーンルームに必要な換気回数・頻度、換気回数と清浄度クラスの関係について詳しく解説しています。クリーンブースの導入をお考えの方は、ぜひ参考にしてください。
まずは、クリーンルームに必要な換気回数の目安を見てみましょう。クリーン度の違いにより回数は大きく異なります。 なお、以下は参考値になります。規格等によるデータとは異なる点をご了承ください。
クリーンルームのクラス | 一般的数値 | USA209E規格 | 平均気流速度 |
---|---|---|---|
クラス100,000 | 20~30回/h | 20 | 0.005-0.041m/sec |
クラス10,000 | 30~70回/h | 75 | 0.051-0.076m/sec |
クラス1,000 | 100~200回/h | 150 | 0.127-0.203m/sec |
クラス100 | 200~600回/h | 250~400 | 0.203-0.408m/sec |
参考までに、温度精度を維持するための換気回数の目安は次の通りです。
温度精度 | ±2℃ | ±1℃ | ±0.5℃ | ±0.25℃ |
---|---|---|---|---|
換気回数 | 15回/h | 30回/h | 60回/h | 120回/h |
上でご紹介した参考値の表をご覧いただければ分かる通り、クリーンルーム等における必要換気回数は、ユーザーが求めるクリーン度によって全く異なります。求めるクリーン度が高ければ高いほど必要換気回数・頻度が多くなり、逆に低ければ引く日ほど必要換気回数・頻度が少なくなります。
特にクラス100以下という高水準のクリーン度を求める場合には、クリーンルーム全体を均一に換気する方法(グレーチングを用いたダウンフロー方式)が必要です。
なお、実際にクラス100以下のクリーン度を維持していく場合には、換気回数も大切ですが、それ以上に面風速を重視することが大切となります。
要求するクリーン度が高水準となる場合、まずはメーカーの専門家に相談してみることをおすすめします。
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