光学機器メーカーでは商品開発において、光学機器が外乱温度に晒された際、具体的にどのような影響が生じる必要があるか調べる必要がありました。そのため、適切な条件でテストできる環境が必要となり、希望通りの空間が実現できそうなクリーンブースの導入を決定しました。
外乱温度検査用クリーンブース/断熱ブース(清浄クラス10~100,000)
温度を適切にするにはブース内の気流をスムーズにする必要があったため、ブース内壁はフラットな構造に。これにより、クリーンブースでありながらクリーンルームのような内部となっており、温度調整がしやすくなっています。
参照元:伸榮産業公式サイト(http://clean-booth.jp/showcase/)
E-Room+ (イールームプラス)(清浄クラス1,000)
半導体工場内にクリーンブースを導入した事例です。クリーンブース内に小口と大口の出入り口を設置。
工程ラインをUの字にすることで、小さなものは横のエアーシャワーから、大きなものもクリーンブース内にカーテンを設置することで、外部からのコンタミン混入を極力抑えるレイアウトになっています。
クラス100のクリーンブース
参照元:トヨシマ電機公式サイト(https://www.toyoshimadenki.jp/1347000359297/)
新規事業を立ち上げるため、精密部品の加工ライン用クリーンルームを設置することに。国内外の自動車メーカーからの視察に対応するため、見学ができるクリーンルームにしたいという要望がありました。
ファクトリーブース(清浄クラス100,000)
階高の高い工場内の一角が設置箇所だったため、天井を吊る必要がないコマニーのシステムパネル「ファクトリーブース」で中間ガラスタイプを工場内通路側に設置して視認性を良くしました。また空調設備は換気回数において効率が良いライン式空調システムを設置しました。
参照元:コマニー公式サイト(https://www.comany.co.jp/cleanroom/case/jirei7.html)
半導体製造向け試作用クリーンブース(クラス1,000~10,000)
半導体向け製品の試験室、および装置製作実験室・開発室の各工程別で3室のクリーンブースを設置した事例です。実験室は洗浄度クラス1,000、試験室と開発室は洗浄度クラス10,000としました。
作業スペース確保と洗浄度クラスの管理を同時に実現するため、エアシャワーからの動線や入退室管理の設計に配慮。スフロアスペースを最大限に活用するため、自社開発のオリジナルアルミフレームを使用して壁のぎりぎりまでブースとしました。
FFUの位置調整やメンテナンス用点検口、既設コンセントなどを踏まえたレイアウト設計でコストダウンも実現しています。
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